快科技9月9日消息，据报道，中国两大存储芯片巨头长鑫存储与长江存储已从荷兰ASML采购了足够多的DUV光刻机及关键零部件，现有储备量足以支撑未来三年的扩产与日常晶圆制造需求。
近年来，欧美多国对华先进制程设备的限制范围已从EUV向DUV光刻系统蔓延。尤其是在美国众议院推动将长鑫存储、长江存储晶圆厂列为受管制设施，试图全面切断DUV光刻机等先进设备供应的背景下，两家厂商提前囤够三年设备用量，相当于给扩产计划上了一道“防断供保险”。美国想用设备禁运卡脖子，如今这招已基本失效。消息人士透露，两家晶圆厂储备的设备主要包括NXT:1980系列及其他型号的浸没式DUV光刻机，储备战略还延伸至关键零配件与维护耗材。
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希望本篇文章《长鑫存储与长江存储储备三年DUV光刻机，国产存储产能保障增强》能对你有所帮助！
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